高精度非接触型３D測定装置（Micro Cam-3D)
NOVACAM社(加）は、SLD(スーパールミネッセンスダイオード）を使用したファイバープローブを使い、高精度測定が難しい透明フィルムや、細い筒状内壁等の表面測定を実現しました。
欧米では主にメーカの研究所に導入されています。
| 用途例 |
|---|
| 筒状内壁測定 |
| 透明フィルム層の観測 |
| 表面特性観測 |
| 断面層観測 |
| システム機構 | |
|---|---|
| 光源 | SLD（スーパールミネッセンスダイオード） |
| 波長 | １３１０ナノメートル |
| 取り込みレート | ※１ １０００〜２００００ポイント/秒 |
| 深さ方向測定範囲（深さ） | ２タイプ：４ミリ/８ミリ |
| ワーキングディスタンス | ※２ 数ミリ〜１メートル |
| 分解能（Z軸） | １マイクロメートル以下 |
| 分解能（XY軸） | ※2 ８〜２５マイクロメートル |
| ディテクター〜プローブ間距離 | 最大1キロメートル |
※2 使用プローブ、レンズにより分解能、ワーキングディスタンスは変化します。
| スポット径（μm) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| レンズ焦点距離(mm) | 19.0 | 25.0 | 30.0 | 50.0 | 75.0 | 100.0 | |
| Col 1mm | 0.85μm | 37.0μm | 48.7μm | 58.4μm | 97.4μm | 146.0μm | 194.7μm |
| Col 2.4mm | 2.40μm | 13.1μm | 17.2μm | 20.7μm | 34.5μm | 51.7μm | 69.0μm |
| Col 4mm | 3.30μm | 9.5μm | 12.5μm | 15.0μm | 25.1μm | 37.6μm | 50.2μm |
| Col 8mm | 6.50μm | 4.8μm | 6.4μm | 7.6μm | 12.7μm | 19.1μm | 25.5μm |
| 被写界深度(μm) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| レンズ焦点距離(mm) | 19.0 | 25.0 | 30.0 | 50.0 | 75.0 | 100.0 | |
| Col 1mm | 0.85μm | 1654μm | 2864μm | 4124μm | 11455μm | 25773μm | 45819μm |
| Col 2.4mm | 2.40μm | 207μm | 359μm | 517μm | 1437μm | 3233μm | 5747μm |
| Col 4mm | 3.30μm | 110μm | 190μm | 274μm | 760μm | 1710μm | 3040μm |
| Col 8mm | 6.50μm | 28μm | 49μm | 71μm | 196μm | 441μm | 784μm |
※1 取り込みレートは発信システムの選定により異なります。